硅烷的主流生產(chǎn)工藝是什么？硅烷在現(xiàn)代高科技中應(yīng)用廣泛，而且越來(lái)越重要。硅烷已經(jīng)成為半導(dǎo)體微電子技術(shù)中最重要的特殊氣體。用于制備各種微電子薄膜，硅烷可以制備單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物質(zhì)。在硅烷的整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中，為避免硅烷泄漏積聚發(fā)生燃爆事故，需要在現(xiàn)場(chǎng)安裝使用硅烷氣體泄漏濃度報(bào)警器。 硅烷的主流生產(chǎn)工藝:
三氯氫硅歧化法，該工藝主要是硅烷的制備方法。四氯化硅氫化生成三氯氫硅，然后三氯氫硅歧化生成二氯二氫硅，二氯二氫硅再次歧化生成硅烷。高氯化硅烷通過(guò)帶有催化床的反應(yīng)器逐步發(fā)生歧化反應(yīng)，最終得到SiH4和SiCI4。制備歧化四硅的關(guān)鍵設(shè)備是催化床反應(yīng)器。由于歧化反應(yīng)的轉(zhuǎn)化率受化學(xué)平衡的制約，這種情況要求及時(shí)將反應(yīng)物與未反應(yīng)的原料分離，以達(dá)到整個(gè)過(guò)程完全轉(zhuǎn)化的目的。

三氯氫硅歧化制硅烷的主要特點(diǎn):
1、歧化反應(yīng)在塔式反應(yīng)器中進(jìn)行，非常適合大規(guī)模生產(chǎn)，生產(chǎn)效率高，能耗低，成本低；
2、整個(gè)系統(tǒng)閉路循環(huán)，排放少，有利于環(huán)保，材料利用率高；
3、反應(yīng)產(chǎn)物易于與硅烷分離，可獲得高純度的硅烷(9-11n)；
4、硅烷精餾剩余的各種硅鹽酸鹽可返回歧化塔進(jìn)行反應(yīng)；
5、反應(yīng)條件溫和，能耗低，易于操作和控制；
6、可生產(chǎn)硅烷、四氯化硅、二氯硅烷等多種硅源材料。，并可隨機(jī)搭配產(chǎn)品比例。

硅烷是一種非常活潑的壓縮氣體，與空氣接觸可能自燃，與空氣混合形成爆炸性混合物。當(dāng)加熱或燃燒時(shí)，硅烷分解產(chǎn)生硅和氫。同時(shí)硅烷也是一種強(qiáng)還原劑，與氧化劑反應(yīng)，與水緩慢反應(yīng)，與氫氧化鉀溶液和鹵素反應(yīng)，在6000℃分解成晶體硅，硅烷具有揮發(fā)性，其揮發(fā)性蒸氣屬于易燃易爆氣體。無(wú)色無(wú)味，泄露后不易被發(fā)現(xiàn)。遇高溫、電弧、火花和明火有爆炸危險(xiǎn)。

以采用進(jìn)口高精度氣體傳感器的ERUN-PG51SH4固定在線式硅烷氣體檢測(cè)報(bào)警儀為例，可以同時(shí)檢測(cè)并顯示硅烷氣體的濃度值，超標(biāo)聲光報(bào)警，并聯(lián)鎖自動(dòng)控制排氣風(fēng)機(jī)的啟停，測(cè)量數(shù)據(jù)結(jié)果可通過(guò)分線制4-20 mA模擬信號(hào)量或總線制RS 485（Modbus RTU）數(shù)字量信號(hào)以及無(wú)線模式傳輸，通過(guò)ERUN-PG36E氣體報(bào)警控制器在值班室實(shí)時(shí)顯示硅烷的濃度值，并相應(yīng)的觸發(fā)報(bào)警動(dòng)作。 固定在線式硅烷氣體檢測(cè)報(bào)警儀技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào)：EERUN-PG51SH4
檢測(cè)氣體：硅烷SiH4
量程分辨率： 精度誤差：≤±2%F.S.（更高精度可訂制）
顯示方式：報(bào)警器1.7寸彩屏現(xiàn)場(chǎng)顯示濃度值；控制器主機(jī)9寸彩屏值班室顯示濃度值
報(bào)警方式：現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警，值班室聲光報(bào)警
數(shù)據(jù)傳輸：4-20mA、RS485，可選無(wú)線傳輸
防護(hù)功能：IP65級(jí)防水防塵
防爆功能：隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb級(jí)防爆
 
以上就是關(guān)于硅烷的主流生產(chǎn)工藝是什么的相關(guān)介紹，硅烷是一種高附加值的精細(xì)化學(xué)品，廣泛應(yīng)用于電子和半導(dǎo)體行業(yè)。基于三氯氫硅歧化工藝基本思想的氫氯化和脫氯工藝符合大規(guī)?；どa(chǎn)，成本低，環(huán)境污染小。適用于多晶硅企業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的拓展和副產(chǎn)品的回收，以及三氯氫硅工廠產(chǎn)品鏈的拓展，這是未來(lái)中國(guó)多晶硅和三氯氫硅企業(yè)的首選方式。不過(guò)在整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程中的現(xiàn)場(chǎng)安裝使用硅烷氣體泄漏濃度報(bào)警器可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)環(huán)境空氣中泄漏積聚的硅烷氣體的濃度值，以免發(fā)生燃爆等事故。