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半導(dǎo)體摻雜砷烷氣體泄漏危害有哪些呢

時(shí)間:2023-08-23  來源:氣體檢測(cè)報(bào)警儀  作者:贏潤(rùn)集團(tuán)
作為半導(dǎo)體器件和集成電路制造中重要的摻雜氣體之一,砷烷由于可以調(diào)整材料的電性能,改變半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率,在晶片表面沉積摻雜劑砷烷,從而實(shí)現(xiàn)電阻、PN 結(jié)、埋層等的生產(chǎn)制造。然而由于砷烷既屬于可燃易爆氣體同時(shí)又屬于對(duì)人體有毒有害的氣體,一旦發(fā)生泄漏危害極大,那么半導(dǎo)體摻雜砷烷氣體泄漏危害有哪些呢?一般而言,主要包括氣體燃爆、人員中毒和致癌性等方面危害,而在現(xiàn)場(chǎng)安裝使用集成電路摻雜氣體砷化氫濃度監(jiān)測(cè)儀器就可以對(duì)砷烷的泄漏進(jìn)行監(jiān)測(cè),避免危險(xiǎn)的發(fā)生。
半導(dǎo)體摻雜砷烷氣體泄漏危害有哪些呢
半導(dǎo)體器件和集成電路制造砷烷摻雜工藝主要工藝流程
1、準(zhǔn)備摻雜氣體
按照所需比例將砷烷等摻雜氣體混合,并通過流量控制器精確調(diào)節(jié)氣體流量。
2、芯片裝載
將待摻雜的芯片裝載到晶圓臺(tái)上,并將其固定在摻雜設(shè)備的腔室中。
3、加熱
使用加熱器將芯片加熱到制定溫度,確保其表面能夠吸附摻雜氣體。
4、清洗
停止摻雜氣體供應(yīng),排出殘余氣體,并通入氮?dú)饣蚱渌逑礆怏w,對(duì)芯片表面進(jìn)行清潔處理。
5、封裝
從摻雜設(shè)備中取出芯片,并進(jìn)行封裝。

半導(dǎo)體器件和集成電路制造砷烷泄漏主要危害如下
1、氣體燃爆
砷烷屬于可燃易爆氣體,爆炸極限為4.5%~100%VOL,泄漏積聚到環(huán)境空氣中的砷烷氣體濃度處于此范圍內(nèi)時(shí),遇明火、電弧、火花、高溫等就會(huì)發(fā)生爆炸。
2、人員中毒
砷烷屬于對(duì)人體有毒有害的氣體,國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《GBZ 2.1-2019 工作場(chǎng)所有害因素職業(yè)接觸限值 第1部分:化學(xué)有害因素》中,砷化氫的職業(yè)接觸限值MAC為0.03mg/m3,臨界不良健康效應(yīng)為強(qiáng)溶血作用,多發(fā)性神經(jīng)炎。
3、致癌性
2017年10月27日,世界衛(wèi)生組織國(guó)際癌癥研究機(jī)構(gòu)公布的致癌物清單初步整理參考,砷和無機(jī)砷化合物在1類致癌物清單中。

以采用進(jìn)口高精度氣體傳感器的ERUN-PG51SAX3固定在線式砷化氫檢測(cè)報(bào)警儀為例,可以同時(shí)檢測(cè)并顯示砷化氫(砷烷)AsH3氣體的濃度值,超標(biāo)聲光報(bào)警,并聯(lián)鎖自動(dòng)控制排氣風(fēng)機(jī)的啟停,測(cè)量數(shù)據(jù)結(jié)果可通過分線制4-20 mA模擬信號(hào)量或總線制RS 485(Modbus RTU)數(shù)字量信號(hào)以及無線模式傳輸,通過ERUN-PG36E氣體報(bào)警控制器在值班室實(shí)時(shí)顯示硅烷的濃度值,并相應(yīng)的觸發(fā)報(bào)警動(dòng)作。
集成電路摻雜氣體砷化氫濃度監(jiān)測(cè)儀器
半導(dǎo)體器件和集成電路制造固定在線式砷烷氣體檢測(cè)報(bào)警儀技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào):ERUN-PG51SAX3
檢測(cè)氣體:砷化氫(砷烷)AsH3
量程分辨率:
AsH3:0-10ppm、0.01ppm、進(jìn)口高精度ECD電化學(xué)原理傳感器
其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.(更高精度可訂制)
顯示方式:報(bào)警器2.5寸彩屏現(xiàn)場(chǎng)顯示濃度值;控制器主機(jī)9寸彩屏值班室顯示濃度值
報(bào)警方式:現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警,值班室聲光報(bào)警
數(shù)據(jù)傳輸:4-20mA、RS485,可選無線傳輸
防護(hù)功能:IP66級(jí)防水防塵
防爆功能:隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級(jí)防爆

以上就是關(guān)于半導(dǎo)體摻雜砷烷氣體泄漏危害有哪些呢的相關(guān)介紹,砷烷是一種由一個(gè)砷原子和三個(gè)氫原子組成的化合物,其分子式為AsH3,在半導(dǎo)體器件和集成電路制造中具有廣泛應(yīng)用,是制造高性能半導(dǎo)體器件和集成電路的關(guān)鍵材料之一。然而,由于砷烷具有包括氣體燃爆、人員中毒和致癌性等在內(nèi)的多種危險(xiǎn),及時(shí)發(fā)現(xiàn)其泄漏就顯得十分重要了。通過在現(xiàn)場(chǎng)安裝使用集成電路摻雜氣體砷化氫濃度監(jiān)測(cè)儀器就可以24小時(shí)不間斷連續(xù)實(shí)時(shí)在線監(jiān)測(cè)空氣中泄漏的砷烷濃度值,并超標(biāo)報(bào)警提醒,以免安全事故的發(fā)生。
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