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等離子刻蝕氣體三氟三氯乙烷泄漏怎樣檢測

時間:2023-08-11  來源:氣體檢測報警儀  作者:贏潤集團
作為微電子工業(yè)重要的電子特氣之一,三氟三氯乙烷C2Cl3F3由于具有良好的刻蝕選擇性且易于控制,不僅可以作為半導(dǎo)體行業(yè)的刻蝕氣體來使用;而且由于三氟三氯乙烷具有較高的溶解性能,也被廣泛清洗劑用于清除半導(dǎo)體和微電子產(chǎn)品上的有機物油脂污染物。然而,在微電子工業(yè)半導(dǎo)體生產(chǎn)儲運過程中不可避免的會發(fā)生三氟三氯乙烷揮發(fā)泄漏,那么等離子刻蝕氣體三氟三氯乙烷泄漏怎樣檢測呢?一般而言,可以通過安裝使用微電子工業(yè)C2Cl3F3氣體濃度監(jiān)測報警器對所有使用及存放三氟三氯乙烷C2Cl3F3的工況場所中氣體泄漏進行監(jiān)測,并及時報警提醒。
等離子刻蝕氣體三氟三氯乙烷泄漏怎樣檢測
微電子工業(yè)半導(dǎo)體行業(yè)三氟三氯乙烷的主要應(yīng)用如下
1、刻蝕
三氟三氯乙烷是干法刻蝕硅片常用的一種氣體。它具有良好的選擇性,能夠有效地去除硅,而不會影響到其他材料。此外,它的刻蝕速率很快,且容易控制,能夠滿足不同的刻蝕需求。因此,在微電子工業(yè)中,三氟三氯乙烷被廣泛應(yīng)用于硅片刻蝕中。
2、清洗
三氟三氯乙烷可用作高效的清洗劑和溶劑,在半導(dǎo)體和電子工業(yè)中用于清洗和去除表面污染物、油脂和有機雜質(zhì)。它可用于清洗機械零件、電子器件、儀器儀表、航空航天器材、膠片、磁帶、紡織品等各種材料,并可以與其他溶劑混合使用,適用于不同材料的清洗需求。

三氯三氟乙烷,又稱作1,2,2-三氟-1,1,2-三氯乙烷、氟里昂-113、CFC-113、R113等,化學(xué)式為C2Cl3F3,在常溫常壓狀態(tài)下是一種無色有醚類甜味的無色液體,屬于對人體有毒有害的氣體,人體不慎吸入過高濃度時造成人員中毒事故的發(fā)生,吸入后能引起眩暈、麻醉、惡心、嘔吐等癥狀,長時間接觸有麻醉作用,對眼和皮膚有刺激性,對心血管系統(tǒng)有毒性作用。

微電子工業(yè)半導(dǎo)體行業(yè)三氟三氯乙烷氣體泄漏監(jiān)測的必要性
1、保障人員安全
三氟三氯乙烷是對人體有毒有害的氣體,在高濃度下吸入可引發(fā)中毒事故,導(dǎo)致嚴(yán)重的健康問題甚至致命。通過進行氣體泄漏監(jiān)測,能夠?qū)崟r檢測和警報氣體泄漏情況,及早采取應(yīng)急措施,確保工作人員的安全。
2、防止環(huán)境污染
三氟三氯乙烷屬于臭氧層破壞物質(zhì),具有較高的臭氧消耗潛勢。若氣體泄漏未及時發(fā)現(xiàn)和處理,將導(dǎo)致大量臭氧的釋放,加速臭氧層的破壞,造成環(huán)境污染和氣候變化。通過監(jiān)測氣體泄漏,及時察覺和處理泄漏情況,可以減少對環(huán)境的損害。
3、防止設(shè)備損壞和生產(chǎn)中斷
氣體泄漏可能會導(dǎo)致刻蝕設(shè)備的損壞,從而影響工藝的正常運行。及時的氣體泄漏監(jiān)測,可以發(fā)現(xiàn)并修復(fù)可能導(dǎo)致泄漏的設(shè)備故障,并防止因設(shè)備損壞而導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷和生產(chǎn)成本增加。
4、符合法規(guī)和環(huán)保要求
在各個地區(qū),針對有毒有害氣體的泄漏監(jiān)測已經(jīng)成為法律法規(guī)的要求,特別是對于涉及到職業(yè)安全健康和環(huán)境保護的行業(yè)。進行三氟三氯乙烷氣體泄漏監(jiān)測,可以確保企業(yè)遵守相關(guān)法規(guī)和環(huán)保要求,避免因此而面臨的法律責(zé)任和罰款。

以采用進口高精度氣體傳感器的ERUN-PG51R113固定在線式三氟三氯乙烷R113檢測報警儀為例,可以同時檢測并顯示三氯三氟乙烷C2Cl3F3氣體的濃度值,超標(biāo)聲光報警,并聯(lián)鎖自動控制排氣風(fēng)機的啟停,測量數(shù)據(jù)結(jié)果可通過分線制4-20 mA模擬信號量或總線制RS 485(Modbus RTU)數(shù)字量信號以及無線模式傳輸,通過ERUN-PG36E氣體報警控制器在值班室實時顯示硅烷的濃度值,并相應(yīng)的觸發(fā)報警動作。
微電子工業(yè)C2Cl3F3氣體濃度監(jiān)測報警器
微電子工業(yè)半導(dǎo)體行業(yè)三氟三氯乙烷C2Cl3F3氣體檢測報警儀技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號:ERUN-PG51R113
檢測氣體:三氯三氟乙烷C2Cl3F3
量程分辨率:
C2Cl3F3:0-1000ppm、0.1ppm、進口高精度紅外原理傳感器

C2Cl3F3:0-2000ppm、1ppm、進口高精度紅外原理傳感器

C2Cl3F3:0-5000ppm、1ppm、進口高精度紅外原理傳感器
其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.(更高精度可訂制)
顯示方式:報警器1.7寸彩屏現(xiàn)場顯示濃度值;控制器主機9寸彩屏值班室顯示濃度值
報警方式:現(xiàn)場聲光報警,值班室聲光報警
數(shù)據(jù)傳輸:4-20mA、RS485,可選無線傳輸
防護功能:IP65級防水防塵
防爆功能:隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級防爆

以上就是關(guān)于等離子刻蝕氣體三氟三氯乙烷泄漏怎樣檢測的相關(guān)介紹,光刻是半導(dǎo)體制造中的重要工藝,用于制作電路圖案。三氟三氯乙烷可作為光刻膠的去膠劑,用于去除未暴露光刻膠的部分,使得光刻圖案能夠轉(zhuǎn)移到下一步的工藝中。除了在微電子工業(yè)中的硅片刻蝕應(yīng)用外,硅片刻蝕氣體三氟三氯乙烷C2Cl3F3還可以作為半導(dǎo)體和微電子產(chǎn)品清洗劑進行使用。而在所有存放或使用三氟三氯乙烷C2Cl3F3的生產(chǎn)儲運場所安裝使用微電子工業(yè)C2Cl3F3氣體濃度監(jiān)測報警器就可以24小時連續(xù)不間斷實時在線監(jiān)測氣體泄漏情況,可以最大程度地減少潛在風(fēng)險,并保障工作場所的安全和環(huán)境的可持續(xù)發(fā)展。
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