作為半導(dǎo)體行業(yè)芯片制造工藝中的電子特氣之一,二氟二氯化碳CCL2F2在半導(dǎo)體制造、光刻膠去除、電子制造等領(lǐng)域均有廣泛的應(yīng)用,這主要是由于二氟二氯化碳CCL2F2在半導(dǎo)體材料上具有良好的刻蝕效果,可以有選擇地從硅片表面去除不需要的材料。在硅片刻蝕整個(gè)生產(chǎn)儲(chǔ)運(yùn)過(guò)程中為了防止二氟二氯化碳泄漏,需要對(duì)其進(jìn)行檢測(cè),那么
硅片刻蝕氣體二氟二氯化碳泄漏怎么檢測(cè)出來(lái)的呢?一般而言,可以通過(guò)安裝使用
半導(dǎo)體行業(yè)CCL2F2濃度監(jiān)測(cè)報(bào)警器對(duì)所有使用及存放二氟二氯化碳CCL2F2的工況場(chǎng)所中氣體泄漏進(jìn)行監(jiān)測(cè),并及時(shí)報(bào)警提醒。
硅片刻蝕氣體二氟二氯化碳CCL2F2的主要應(yīng)用如下:
1、
半導(dǎo)體制造CCL2F2被廣泛應(yīng)用于硅片的刻蝕過(guò)程中,用于去除硅片表面的雜質(zhì)和不需要的部分。在微電子領(lǐng)域,硅片的刻蝕是制造高集成度芯片的核心步驟之一,刻蝕氣體的選擇對(duì)于確保高質(zhì)量的刻蝕過(guò)程至關(guān)重要。
2、
光刻膠去除在光刻過(guò)程中,光刻膠被用作圖案形成的掩模。CCL2F2作為刻蝕氣體可用于去除光刻膠,使得光刻膠只存在于所需的區(qū)域內(nèi),從而形成所需的圖案。
3、
電子制造除了半導(dǎo)體制造外,CCL2F2在其他電子制造領(lǐng)域也有應(yīng)用。例如,在電路板制造中,CCL2F2可用于通過(guò)刻蝕來(lái)去除不需要的金屬層。
二氟二氯化碳,又稱(chēng)作二氟二氯甲烷,化學(xué)式為CCL2F2,在常溫常壓狀態(tài)下是一種無(wú)色無(wú)臭氣體,屬于對(duì)人體有毒有害的氣體,職業(yè)接觸限值PC-TWA為5000mg/m3,臨界不良健康效應(yīng)為眼及上呼吸道刺激,心臟毒性,液體接觸皮膚灼傷。
硅片刻蝕氣體二氟二氯化碳CCL2F2監(jiān)測(cè)的必要性:
1、
人員安全CCL2F2是一種對(duì)人體有毒有害的氣體。其存在于工作環(huán)境中可能會(huì)對(duì)工作人員的健康造成負(fù)面影響,尤其是在長(zhǎng)期暴露情況下。泄漏的CCL2F2氣體可能引起眼睛和上呼吸道的刺激,對(duì)心臟產(chǎn)生毒性作用,液體接觸皮膚可能導(dǎo)致灼傷。因此,通過(guò)進(jìn)行泄漏監(jiān)測(cè),可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)和處理CCL2F2泄漏,保障工作人員的健康與安全。
2、
環(huán)境保護(hù)CCL2F2是一種對(duì)人體有毒有害的氣體。其存在于工作環(huán)境中可能會(huì)對(duì)工作人員的健康造成負(fù)面影響,尤其是在長(zhǎng)期暴露情況下。泄漏的CCL2F2氣體可能引起眼睛和上呼吸道的刺激,對(duì)心臟產(chǎn)生毒性作用,液體接觸皮膚可能導(dǎo)致灼傷。因此,通過(guò)進(jìn)行泄漏監(jiān)測(cè),可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)和處理CCL2F2泄漏,保障工作人員的健康與安全。
3、
生產(chǎn)效率CL2F2的刻蝕作用在半導(dǎo)體制造中起著關(guān)鍵作用。當(dāng)CCL2F2發(fā)生泄漏時(shí),刻蝕工藝可能會(huì)受到干擾,導(dǎo)致生產(chǎn)效率的下降和產(chǎn)品質(zhì)量的降低。通過(guò)對(duì)CCL2F2泄漏進(jìn)行監(jiān)測(cè),可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題并進(jìn)行修復(fù),確??涛g過(guò)程的穩(wěn)定性和一致性。
以采用進(jìn)口高精度氣體傳感器的ERUN-PG51R12
固定在線(xiàn)式二氯二氟甲烷R12檢測(cè)報(bào)警儀為例,可以同時(shí)檢測(cè)并顯示二氟二氯化碳CCL2F2氣體的濃度值,超標(biāo)聲光報(bào)警,并聯(lián)鎖自動(dòng)控制排氣風(fēng)機(jī)的啟停,測(cè)量數(shù)據(jù)結(jié)果可通過(guò)分線(xiàn)制4-20 mA模擬信號(hào)量或總線(xiàn)制RS 485(Modbus RTU)數(shù)字量信號(hào)以及無(wú)線(xiàn)模式傳輸,通過(guò)ERUN-PG36E氣體報(bào)警控制器在值班室實(shí)時(shí)顯示硅烷的濃度值,并相應(yīng)的觸發(fā)報(bào)警動(dòng)作。
固定在線(xiàn)式二氟二氯化碳CCL2F2氣體檢測(cè)報(bào)警儀技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品型號(hào):ERUN-PG51R12
檢測(cè)氣體:二氟二氯化碳CCL2F2
量程分辨率:
CCL2F2:0-1000ppm、0.1ppm、進(jìn)口高精度紅外原理傳感器
或
CCL2F2:0-2000ppm、1ppm、進(jìn)口高精度紅外原理傳感器
或
CCL2F2:0-5000ppm、1ppm、進(jìn)口高精度紅外原理傳感器
其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.(更高精度可訂制)
顯示方式:報(bào)警器1.7寸彩屏現(xiàn)場(chǎng)顯示濃度值;控制器主機(jī)9寸彩屏值班室顯示濃度值
報(bào)警方式:現(xiàn)場(chǎng)聲光報(bào)警,值班室聲光報(bào)警
數(shù)據(jù)傳輸:4-20mA、RS485,可選無(wú)線(xiàn)傳輸
防護(hù)功能:IP65級(jí)防水防塵
防爆功能:隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級(jí)防爆
以上就是關(guān)于
硅片刻蝕氣體二氟二氯化碳泄漏怎么檢測(cè)出來(lái)的相關(guān)介紹,二氟二氯化碳CCL2F2作為硅片刻蝕氣體在半導(dǎo)體制造和電子制造領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用,然而由于其泄漏會(huì)影響人員安全、環(huán)境保護(hù)、生產(chǎn)效率,因此對(duì)于硅片刻蝕氣體二氟二氯化碳(CCL2F2)進(jìn)行泄漏監(jiān)測(cè)是非常必要的。通過(guò)在半導(dǎo)體行業(yè)芯片制造過(guò)程中安裝使用
半導(dǎo)體行業(yè)CCL2F2濃度監(jiān)測(cè)報(bào)警器,既可以保障工作人員的健康與安全,又可以保護(hù)環(huán)境、提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。。