在微電子工業(yè)中,三氟化氮(NF3)是一種常用的等離子體刻蝕氣體,能夠高效而精確地刻蝕硅片。然而,NF3雖然具有優(yōu)良的刻蝕性能,卻也是一種對人體有極大危害的電子特種氣體。那么
硅片刻蝕氣體三氟化氮泄漏的危害有哪些呢?一般而言,主要包括刺激、腐蝕、毒性、強氧化性等,而在現(xiàn)場安裝使用
微電子工業(yè)NF3氣體泄漏濃度檢測報警器就可以對三氟化氮NF3的泄漏進行監(jiān)測預警,避免其所造成的危害。
NF3是一種低毒物質,對人體有嚴重危害。它具有強氧化性,可與還原劑發(fā)生劇烈反應,引起燃燒和爆炸。高溫能導致其分解甚至爆炸。同時,NF3也對眼睛、皮膚和呼吸道粘膜具有強烈刺激作用,并能腐蝕組織。長期接觸高濃度的NF3會導致頭痛、嘔吐和腹瀉,而長期接觸低濃度的NF3會損傷牙齒和骨骼,引發(fā)牙齒黃斑變性和骨骼畸形等問題。
微電子工業(yè)硅片刻蝕氣體三氟化氮NF3的作用:
NF3在硅片刻蝕中具有重要的作用,它能夠高效而精確地刻蝕硅片,滿足微電子工業(yè)的需求。NF3是優(yōu)良的等離子體刻蝕氣體,通過與硅片表面的氧化層反應,生成氟化硅,從而實現(xiàn)硅片的刻蝕。其刻蝕速率和刻蝕精度都比較穩(wěn)定和可控。
微電子工業(yè)硅片刻蝕氣體三氟化氮NF3刻蝕工藝流程:
1、氣體充填
將NF3引入刻蝕室中,確??涛g室內的NF3濃度達到所需水平。
2、預處理
在刻蝕之前,通常需要對硅片進行預處理,如清洗和去除表面雜質。
3、等離子體激活
通過電離等離子體激活硅片表面,增加刻蝕反應的速率和效果。
4、刻蝕
將預處理后的硅片置于刻蝕室中,與NF3進行等離子體刻蝕,實現(xiàn)硅片的精確刻蝕。
5、清洗
刻蝕完成后,需要對硅片進行清洗,去除殘留的刻蝕物質和雜質。
6、檢測和質量控制
通過檢測硅片的表面質量和刻蝕精度,確??涛g工藝的穩(wěn)定性和可靠性。
微電子工業(yè)硅片刻蝕氣體三氟化氮NF3對人體的危害:
1、
刺激作用接觸NF3可引起眼睛、皮膚和呼吸道粘膜的嚴重刺激,造成不適和疼痛感。
2、
腐蝕作用NF3具有腐蝕組織的能力,長時間接觸會對人體的眼睛、皮膚和呼吸道造成傷害。
3、
毒性作用長期吸入高濃度的NF3會引發(fā)頭痛、嘔吐和腹瀉等癥狀,對人體健康造成嚴重威脅。長期吸入低濃度的NF3則會對牙齒和骨骼產(chǎn)生損害,導致牙齒黃斑變性和骨骼畸形等問題。
4、
強氧化性NF3具有強氧化性,能與還原劑發(fā)生劇烈反應,引起燃燒和爆炸。同時,接觸易燃物質和有機物也會引發(fā)劇烈反應,甚至導致火災和爆炸。
以贏潤集團研發(fā)生產(chǎn)的ERUN-PG71S4-NF3
便攜泵吸式三氟化氮檢測報警儀和ERUN-PG51NF3
固定在線式三氟化氮檢測報警儀為例,可分別針對便攜手持方便快速檢測和固定安裝實時在線監(jiān)測三氟化氮NF3氣體的濃度值,并可根據(jù)需求選配風速、壓力、噪聲、PM2.5、PM10、風向、溫濕度等參數(shù)指標。
便攜泵吸式三氟化氮檢測報警儀技術參數(shù):
產(chǎn)品型號:ERUN-PG71S4-NF3
檢測氣體:三氟化氮NF3
量程范圍:
NF3:0-50ppm、0.01ppm、進口高精度電化學原理傳感器
或
NF3:0-1000ppm、0.1ppm、進口高精度電化學原理傳感器
其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.
測量方式:泵吸式,流量500毫升/分鐘
顯示方式:2.31寸高清彩屏
報警方式:聲音+閃光+振動+屏幕、關閉報警可選
響應時間:T90≤20秒
工作電源:3.7 V DC,4600 mA可充放電池
數(shù)據(jù)存儲:標配10萬條,支持定時存儲或只存儲報警信息
數(shù)據(jù)傳輸:USB、RS232,可選配RS485
防護形式:IP65級防水防塵
防爆形式:Ex ia ⅡC T4 Ga級防爆
外型尺寸:178×67×40mm(L×W×H)
產(chǎn)品重量:360 g
溫度測量:-40℃~+120℃、精度0.5℃(選配)
濕度測量:0-100%RH、精度3 %RH(選配)
采樣手柄:1.2m可伸縮采樣手柄(選配)
固定在線式三氟化氮檢測報警儀技術參數(shù):
產(chǎn)品型號:ERUN-PG51NF3
檢測氣體:三氟化氮NF3
量程范圍:
NF3:0-50ppm、0.01ppm、進口高精度電化學原理傳感器
或
NF3:0-1000ppm、0.1ppm、進口高精度電化學原理傳感器
其他量程、原理、分辨率可訂制
精度誤差:≤±2%F.S.(更高精度可訂制)
顯示方式:報警器1.7寸彩屏現(xiàn)場顯示濃度值;控制器主機9寸彩屏值班室顯示濃度值
報警方式:現(xiàn)場聲光報警,值班室聲光報警
數(shù)據(jù)傳輸:4-20mA、RS485,可選無線傳輸
防護功能:IP65級防水防塵
防爆功能:隔爆型,Ex d ⅡC T6 Gb級防爆
以上就是關于
硅片刻蝕氣體三氟化氮泄漏的危害的相關介紹,雖然NF3在硅片刻蝕中起著重要作用,但其對人體的危害不可忽視。在處理NF3時,必須嚴格遵守安全操作規(guī)程,使用個人防護裝備,并應配備
微電子工業(yè)NF3氣體泄漏濃度檢測報警器進行在線監(jiān)測,確保作業(yè)環(huán)境的安全。此外,還應加強NF3危害的宣傳與教育,提高人們對NF3危害的認識,以保護工作人員和環(huán)境的安全。